产品性能

规格/型号	12寸RCA单片清洗一体机
晶圆尺寸	12"晶圆工艺
功能	晶圆清洗
颗粒去除率	≤个/片（粒径≥0.3μm）
金属离子含量	≤5E10 原子 / 平方厘米
晶圆破损	1/100000
设备依赖正常运行时间（%；平均值）	≥95
平均故障间隔时间（MTBF / 小时）	≥500
每小时产出量	≥50pcs
设备尺寸	2500mm(W)*4700mm(L)*2400mm(H)

应用领域
碳化硅、硅、蓝宝石