· 面向客户需求自主研发的一款高效、高性能的清洗.贴蜡设备。 具备较强的兼容性，采用定制化、模块化设计，配置灵活。
· 布局合理 ，外观新颖 ，操作方便 ，准确，精度高。
· 自动上/下料系统以及几片容量的陶瓷盘推车，可减少人工，提高效率。
· 陶瓷盘清洗结束后， 自动完成涂蜡.甩蜡.贴片.冷却。
· 封闭式上蜡 ，设备表面更洁净。
· 加热冷却盘采用精密加热和自动冷却系统，精确控制盘面温度可根据客户要求定制一拖一（二.三.四）。
产品性能
| 规格/型号 | 陶瓷盘贴片清洗一体机 |
| 陶瓷盘 | Ø485×15T |
| 贴片尺寸 | 2 英寸～8 英寸晶圆制程 |
| 设备尺寸 | 2700(W)*9700(L)*2300(H) |
| 设备电源 | 380V 3P 50/60Hz 65KW |
应用领域
硅、蓝宝石、碳化硅、化合物半导体