产品性能

规格/型号	12寸RCA单片清洗一体机
晶圆尺寸	4” 6” 8”晶圆
功能	晶圆清洗
颗粒去除率	≤100个/片（粒径≥0.3μm）
金属离子含量	5E10 原子/平方厘米
晶圆破损率	1/100000
设备依赖正常运行时间（%；平均值）	≥95
平均故障间隔时间（MTBF / 小时）	≥500
每小时产出量	20Pcs
设备尺寸	3700mm（W）*2500mm（L）*2200mm（H）

应用领域
硅、蓝宝石、碳化硅