| 规格/型号 | 过程单片清洗机 |
| 晶圆尺寸 | 6"~12" 晶圆制程 |
| 功能 | 晶圆清洗 |
| 腔室数量 | 2、4、6、8、12（刷洗腔＋甩干腔） |
| 装载端口 | 4 |
| 清洗方式 | 刷洗腔：毛刷，二流体：DIW，药液 |
| 旋转刷洗机 | 正 /背 |
| 干燥方式 | 高速旋干 |
| 每小时产出 | 8 寸/12寸产能 ≥ 100片/小时、60片/小时 |
| 机器人 | 2 |
| 颗粒去除率 | 刷洗后不产生肉眼可见划痕，刷洗后在卤素灯或强光灯下观察，无肉眼可见抛光液脏污和颗粒物 |
| 稼动率 | ＞95% |
| 设备尺寸 | 3400mm（W）*2560mm（L）*2400mm（H） |
应用领域
硅、蓝宝石、碳化硅、化合物半导体